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GC3000ERの性能実験


GC3000ERの洗浄能力を検証する実験を行いました。

  1. 純水洗浄との比較実験
  2. 他社製品との性能比較実験
  3. 耐腐食性実験

GC3000ERの実力を、ぜひご検討下さい。

BEX GC3000ER
GC3000ER

1.純水洗浄との比較実験

GC3000ERとDI waterとの洗浄能力比較です。以下の条件下での残留パーティクルの数を比較しています。
  • ガラスパネルの大きさ: 1,500mm×1,850mm
  • TFT、ロールブラシ、ラインスピード: 10m/min, 30℃, 1Lot

純水洗浄との比較実験グラフ
GC3000ERによる洗浄
Slot 1μm m m 合計
1 252 57 85 394
10 605 80 81 766
20 587 74 92 753
30 625 68 91 784
DI waterによる洗浄
Slot 1μm m m 合計
1 474 57 80 611
10 14,519 1,167 505 16,191
20 49,248 3,101 360 52,709
30 52,797 3,596 442 56,835
※1Slot:30個
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他社製品との性能比較実験

GC3000ERと代表的な洗剤2種(スイス製サンプル、日本製サンプル)との性能比較実験です。
  • TFT、ロールブラシ、ラインスピード: 10m/min, 30℃, 1Lot
  • ガラス基板の大きさ: 620mm×720mm

他社製品との性能比較のグラフ
1μm m m 合計
スイス製 71.0 9.3 12.1 92.4
日本製 67.2 7.8 7.6 82.6
GC3000ER 44.2 6.3 3.8 54.3

結果
  • パーティクルの除去能力がスイス製サンプルより35.4%、日本製サンプルより28.1%優秀
  • 単位密度で換算する場合: 0.0069EA/cm2
  • 小と大のパーティクルに対して優秀な洗浄能力がある
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耐腐食性実験

JIS(日本工業規格)K0100 & JIS K2234
  • 各々の金属をGC3000ER、純水にそれぞれ沈底させる。
  • 沈積時間 14日
  • 温度: 20℃±5℃
  • サンプル金属の大きさ: 50mm×30mm×1mm

腐食率 (mdd=mg/dm2/day)
金属の種類 GC3000ER 純水 許容範囲
鋳鉄(FC200) 1.220 4.850 5.0以下
噴射鋼(SPDD-B) 0.285 0.578 1.0以下
SUS405 0.001 0.013 0.1以下
アルミニウム(AC2A-F) 0.088 0.192 0.1以下
銅(C1100P) 0.016 0.189 0.1以下
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